UNIDAD 1. Requerimientos experimentales básicos. Ultra alto vacío: necesidad e implementación. Conceptos de vacío. Tecnología de ultra alto vacío. Materiales. Sistemas de bombeo. Medición de vacío Preparación de superficies atómicamente limpias. Clivado, calentamiento, tratamiento químico, erosión iónica y recocido. Técnicas de deposición. Conceptos, fuentes y monitores. Exposición a gases. Excitación y detección: Fuentes de fotones: rayos X y UV. Fuentes de electrones. Fuentes de iones. Analizadores de energía: de espejo cilíndrico, de retardo, hemisféricos. Detectores.

UNIDAD 2. Microscopias. Microscopia electrónica de emisión de campo. Microscopia iónica de emisión de campo. Microscopia electrónica de transmisión. Microscopia electrónica de reflexión. Microscopia electrónica de baja energía. Microscopia electrónica de barrido. Microscopia túnel de barrido. Microscopia atómica de fuerzas. Utilización de las diferentes técnicas en la caracterización del crecimiento y formación de estructuras.

UNIDAD 3. Métodos de difracción. Difracción de electrones lentos. Esfera de Ewald. Disposición experimental. Interpretación de un espectro. Difracción de electrones de alta energía. Disposición experimental. Interpretación de un espectro. Difracción de rayos X rasantes. Condiciones y bases de la aproximación cinemática. Análisis estructural.

UNIDAD 4. Espectroscopias electrónicas. Espectros de emisión de electrones. Espectroscopia Auger. Principios físicos. Esquema experimental. Análisis Auger. Análisis cuantitativo: factores de sensibilidad. Transiciones de banda de valencia. Sensibilidad química. Espectroscopia electrónica de pérdida de energía. Espectroscopia de fotoelectrones. Efecto fotoeléctrico.  Esquema experimental. Análisis de fotoemisión. Análisis cuantitativo. Sensibilidad química. Análisis comparativo Auger vs fotoemisión. Microscopio Auger de barrido.

UNIDAD 5. Espectroscopias y difracción. Difracción de electrones Auger. Difracción de fotoelectrones. Espectroscopia de átomos térmicos. Difracción de átomos. Difracción en microscopia de transmisión electrónica. . Utilización de las diferentes técnicas en la caracterización del crecimiento y formación de estructuras.

UNIDAD 6. Espectroscopias iónicas. Principios generales. Colisiones binarias. Sección eficaz de dispersión. Sombra y bloqueo. Canalización. Erosión. Procesos electrónicos. Espectroscopia de dispersión de iones de baja energía. Técnicas de análisis de energía electrostática y por tiempo de vuelo. Análisis estructural. Espectroscopia de retrodispersión. y espectroscopia de iones de energía media. Conceptos generales. Pico de superficie. Análisis de films delgados. Espectroscopia de emisión de iones secundarios.